自動化搬運

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Stocker 晶圓盒倉儲系統

Stocker 晶圓盒倉儲系統
  • 採用模組化架構設計,可依需求進行擴充組合設計。
  • 提供兩組Load Port,分別對應Loader/Unloader,可搭配RFID或條碼系統。
  • 每個儲位皆有3KC Pin2個按壓式光電感測器,可自動偵測晶圓盒是否放置定位。
  • 提供SECS/GEN通訊端口,可與CIM系統進行對接整合。
  • 可與無人搬運系統(無人車/OHCV)進行自動化對接。

​產品規格

項目

規格

晶圓盒種類

12吋 FOUP / FOSB

儲位數

客製化設計

Lot ID讀取

RFID / 條碼

潔淨等級

ISO 5級(Class 100)

晶圓盒出入口

2~4個, 可 自動控制 或 手動控制

重複精度

X軸:±0.01mm  Y軸:±0.01mm Z軸:±0.04mm

選配功能

N2 Purge


友上科技股份有限公司 創立於2005年3月,提供自動化系統服務方案,致力於自動化設備的研發、設計與製造。我們有優秀的研發設計團隊。 不論是傳統製造業、醫療產業、半導體產業、制鞋產業、生技產業...等。 我們都能依客戶的產線需求進行設計、規劃及系統整合,製造出不論是產能及良率都能發揮至最大效益的設備。 除整體營運穩定外,獲利狀況也逐年提升,是國內績優廠商之一。 我們重視每一位員工,除了有良好工作環境、也提供學習及成長的空間。

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