Southport 的 JadeMat - WBG 結合非破壞性光學穿透技術與三維拉曼光譜,提供寬頻隙化合物半導體無損3D內部缺陷檢測與應力分析整體解決方案！
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功能
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檢測特性
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方案優勢
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穿透式檢測
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非破壞性檢測，樣品不會產生光破壞
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✔ 材料可重複驗證或流片到元件製作後分析
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深層缺陷檢測
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透過光束動，可精準在微小材料上選取特定取光譜之區域
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✔ 不需手動及平臺移動，高速精準量測
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客製化軟體
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可依產品、製程建置專屬資料庫
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✔ 大數據分析與良率回朔分析
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應力擴充模組
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可整合瞬態螢光、倍頻、超解析、低溫、電性、磁場…等等多種擴充模組
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✔ 不需切換系統，原位導入多種量測方法，提升實驗效率
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JadeMat-WBG
(Wide Band Gap寬能隙半導體)
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可檢測樣品
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GaN, AlGaN, SiC, GaAs, InP, etc.
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最小解析度
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1 µm
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光譜解析度
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0.3 nm
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適用雷射波長
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440 mm x 440 mm x 500 mm
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尺寸
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224 nm - 1550 nm
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適用二倍頻取樣雷射
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700 nm - 1550 nm
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二倍頻取像模組
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無偏振 / 垂直 / 水平偏振
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南方科技成立於2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、資訊等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模組化、數位化的核心理念，使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數位光學』兩大核心技術為基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數位光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力於研發與創新，深入瞭解行業痛點並且專注解決關鍵問題。
