SA025 for Nano probing System

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SA025 for Nano probing System

SA025 for Nano probing System
  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系統上
  • 不須經過化學清洗過程即可使用
  • 在包裝之前,每支針皆有經過SEM
  • 裸針阻50歐姆以下
  • 經過衡升科技獨特MST技術,以增加品的均
  • 適用於250nm~2nm制程故障分析

衡升科技於20067月在臺北成立. 其成立目的在於提供臺灣以及中國奈米等級的量測概念以及方法。衡升科技致力於半導體元件量測方法的創新及新世代記憶體結構的開發,以解決先進制程發展阻礙,成為無可取代的唯一解決方案。為因應未來世代的故障分析需求,衡升科技於2021年完成鍍膜探針之研發,並完成低阻值、高寬深比之CAFMSCMSSRMMFM探針。

聯絡請洽:http://www.spirox.com.tw/contact