SA025 for Nano probing System

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SA025 for Nano probing System

SA025 for Nano probing System
  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系統上
  • 不須經過化學清洗過程即可使用
  • 在包裝之前,每支針皆有經過SEM
  • 裸針阻50歐姆以下
  • 經過衡升科技獨特MST技術,以增加品的均
  • 適用於250nm~2nm制程故障分析

衡升科技于20067月在台北成立. 其成立目的在于提供台湾以及中国奈米等级的量测概念以及方法。衡升科技致力于半导体组件量测方法的创新及新世代内存结构的开发,以解决先进制程发展阻碍,成为无可取代的唯一解决方案。为因应未来世代的故障分析需求,衡升科技于2021年完成镀膜探针之研发,并完成低阻值、高宽深比之CAFM、SCM、SSRM、MFM探针。