JADEMAT-WBG-SA
- 原理：利用532nm波長鐳射，通過獲取物體內部原子之間間隙情況，從而得到應力的結果。
- 用途：SiC基板及化合物半導體相關基板的應力檢測，從而可檢測到5cm*5cm區域內深度360微米內的缺陷，並生成三維和深度的圖形。
- 優勢：對於目前現有機台無法檢測到材料內部的拉力及壓力的情況，可能會在後續的制程中造成缺陷，JADEMAT-WBG-SA對比X光的XRT圖形的優勢在於可確認應力類型及缺陷存在的深度及缺陷分佈情況，從而可提前預防缺陷的產生及分缺陷產生的原因。
- 應用：SiC基板，SiC磊晶及GaN磊晶等化合物半導體材料的研發及檢測
南方科技成立於2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、資訊等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模組化、數位化的核心理念，使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數位光學』兩大核心技術為基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數位光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力於研發與創新，深入瞭解行業痛點並且專注解決關鍵問題。
聯絡請洽：http://www.spirox.com.tw/contact
