自動化搬運

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eRack 電子料架

eRack 電子料架
  • 每個儲位皆有3KC Pin2個按壓式光電感測器,可自動偵測晶圓盒是否放置定位。
  • 可搭配RFID或條碼系統,提供SECS/GEN通訊端口,可與CIM系統進行對接整合。
  • 可提供儲位密封裝置,搭配自動開蓋機能,可降低物料存放時之落塵污染機率。
  • 可與無人搬運系統進行自動化對接。

產品規格

項目

規格

晶圓盒種類

8吋 open cassette / SMIF/ 12寸FOUP / FOSB

儲位數

4x3 / 4x2 

Lot ID讀取

RFID / 條碼

潔淨等級

ISO 5級(Class 100)

定位檢測

KC pin / 2組光電sensor  for  每個儲位

通訊控制

SECS 通訊

選配

電子料架管理系統


友上科技股份有限公司 創立於2005年3月,提供自動化系統服務方案,致力於自動化設備的研發、設計與製造。我們有優秀的研發設計團隊。 不論是傳統製造業、醫療產業、半導體產業、制鞋產業、生技產業...等。 我們都能依客戶的產線需求進行設計、規劃及系統整合,製造出不論是產能及良率都能發揮至最大效益的設備。 除整體營運穩定外,獲利狀況也逐年提升,是國內績優廠商之一。 我們重視每一位員工,除了有良好工作環境、也提供學習及成長的空間。

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