AMHS倉儲系統

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Stocker 晶圆盒仓储系统

Stocker 晶圆盒仓储系统
  • 采用模块化架构设计,可依需求进行扩充组合设计。
  • 提供两组Load Port,分别对应Loader/Unloader,可搭配RFID或条形码系统。
  • 每个储位皆有3KC Pin2个按压式光电传感器,可自动侦测晶圆盒是否放置定位。
  • 提供SECS/GEN通讯端口,可与CIM系统进行对接整合。
  • 可与无人搬运系统(无人车/OHCV)进行自动化对接。

产品规格

项目

规格

晶圆盒种类

12 FOUP / FOSB

储位数

客制化设计

Lot ID读取

RFID / 条形码

洁净等级

ISO 5(Class 100)

晶圆盒出入口

24个,  自动控制  手动控制

重复精度

X:±0.01mm  Y:±0.01mm Z:±0.04mm

选配功能

N2 Purge


友上科技股份有限公司 创立于2005年3月,提供自动化系统服务方案,致力于自动化设备的研发、设计与制造。我们有优秀的研发设计团队。 不论是传统制造业、医疗产业、半导体产业、制鞋产业、生技产业...等。 我们都能依客户的产线需求进行设计、规划及系统整合,制造出不论是产能及良率都能发挥至最大效益的设备。 除整体营运稳定外,获利状况也逐年提升,是国内绩优厂商之一。 我们重视每一位员工,除了有良好工作环境、也提供学习及成长的空间。

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