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项目 |
规格 |
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晶圆盒种类 |
12寸 FOUP / FOSB |
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储位数 |
客制化设计 |
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Lot ID读取 |
RFID / 条形码 |
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洁净等级 |
ISO 5级(Class 100) |
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晶圆盒出入口 |
2～4个， 可 自动控制 或 手动控制 |
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重复精度 |
X轴:±0.01mm Y轴:±0.01mm Z轴:±0.04mm |
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选配功能 |
N2 Purge |
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