衡升科技于2006年7月在台北成立. 其成立目的在于提供台湾以及中国奈米等级的量测概念以及方法。衡升科技致力于半导体组件量测方法的创新及新世代内存结构的开发，以解决先进制程发展阻碍，成为无可取代的唯一解决方案。为因应未来世代的故障分析需求，衡升科技于2021年完成镀膜探针之研发，并完成低阻值、高宽深比之CAFM、SCM、SSRM、MFM探针。
