SA025 for Nano probing System

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SA025 for Nano probing System

SA025 for Nano probing System
  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前,每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50奥姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术,以增加产品的均匀性
  • 适用于250nm~2nm制程故障分析

衡升科技于20067月在台北成立. 其成立目的在于提供台湾以及中国奈米等级的量测概念以及方法。衡升科技致力于半导体组件量测方法的创新及新世代内存结构的开发,以解决先进制程发展阻碍,成为无可取代的唯一解决方案。为因应未来世代的故障分析需求,衡升科技于2021年完成镀膜探针之研发,并完成低阻值、高宽深比之CAFM、SCM、SSRM、MFM探针。