【SEMICS】OPUS3 SP

OPUS3 SP

OPUS3 SP 为高销计数设备（如一键式 Probing）具有更高的精密度和刚性。

OPUS3 / SL 是全世界最小型的自动 Prober。
可以处理没有更换工具包的6”、8”及12”半标准晶圆，还可以使用为更小布局的平台的产品。为了支持更多设备，OPUS3提供较快的索引时间，还提供多种温度选项。