OPUS3 SP

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OPUS3 SP

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OPUS3 SP

OPUS3 SP 为高销计数设备(如一键式 Probing)具有更高的精密度和刚性。


OPUS3 / SL 是全世界最小型的自动 Prober。
可以处理没有更换工具包的6”、8”及12”半标准晶圆,还可以使用为更小布局的平台的产品。为了支持更多设备,OPUS3提供较快的索引时间,还提供多种温度选项。