|
项目 |
规格 |
|
晶圆盒种类 |
8寸Open Cassette / SMIF ；12寸/ FOUP / FOSB |
|
Lot ID读取 |
RFID |
|
洁净等级 |
ISO 5级(Class 100) |
|
传输速度 |
最高单程速度：310mm/ s |
|
重复精度 |
±0.02mm |
|
噪音值 |
距离设备1公尺处量测，噪音值≤70分贝 |
|
选配装置 |
Stocker / Lifter 对接模块 |
友上科技股份有限公司 创立于2005年3月，提供自动化系统服务方案，致力于自动化设备的研发、设计与制造。我们有优秀的研发设计团队。 不论是传统制造业、医疗产业、半导体产业、制鞋产业、生技产业...等。 我们都能依客户的产线需求进行设计、规划及系统整合，制造出不论是产能及良率都能发挥至最大效益的设备。 除整体营运稳定外，获利状况也逐年提升，是国内绩优厂商之一。 我们重视每一位员工，除了有良好工作环境、也提供学习及成长的空间。
