项目 |
规格 |
晶圆盒种类 |
12寸/ FOUP / FOSB |
载重 |
Max 12kg |
Lot ID读取 |
RFID / 条形码 |
洁净等级 |
ISO 5级(Class 100) |
传输速度 |
270mm/ s |
重复精度 |
Z轴:±0.01mm |
噪音值 |
距离设备1公尺处量测,噪音值≤70分贝 |
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