产品规格
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项目 |
规格 |
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晶圆盒种类 |
8寸 open cassette / SMIF/ 12寸FOUP / FOSB |
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储位数 |
4x3 / 4x2 |
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Lot ID读取 |
RFID / 条形码 |
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洁净等级 |
ISO 5级(Class 100) |
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定位检测 |
KC pin / 2组光电sensor for 每个储位 |
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通讯控制 |
SECS 通讯 |
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选配 |
电子料架管理系统 |
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