为主流生产厂商和实验室的晶圆探针台提供全套的集成高低温解决方案
ERS AC3 提供全温度范围系统，兼有空气稳定性和紧凑的冷却器的优良特性。
可保障全天候24小时纯空气低温测试
在世界知名的生产台和研究实验室中使用的享有专利保护的 AC3 系统，以其宽泛的温度范围、紧凑结构的冷却机组、低功耗要求和空气作为冷却剂的可靠性而闻名。因其最长的正常运行时间，无尘室中紧凑的占地面积，以及低廉的配套成本，使AC3拥有业界最低的运营成本。
归功于专利ACP技术，使工作效率大幅提高
高效 AC3 的核心技术是 专利ACP 高效热交换系统。ACP最大程度得利用制冷空气，既能给卡盘冷却，又可以再次被输送到测试区域，以保证晶圆的无冰环境。
无论在实验室还是生产环节都表现优异
多年来，通过与实验室用户和高品质晶圆分析探针台供应商紧密合作，使AC3在低噪声测试中取得了佳绩。由于 AC3 晶圆夹盘的高刚性结构，能在多引脚数测试期间符合晶圆分类台的要求。
原创微信文章链接：AirCool®炎夏里的一抹清凉，ERS低温测试专利技术
| Available upper temperature limits | +150°C up to +300°C, +400 °C option available |
| Available lower temperature limits | +35, +20, -40, -55 °C |
| Coolant | Air (user supplied) |
| Chuck Temperature Display Resolution | 0.01°C |
| Smallest Temperature Selection Step | 0.1°C |
| Temperature accuracy | ±0.1 °C |
| Max. voltage between chuck top and GND | 500 V DC (high voltage option up to 10 kV available) |
| Surface flatness and base parallelism | -55 °C up to +300 °C < ±12µm (tighter range on request) |
| Temperature uniformity | - 55 °C to +200 °C < ±0.5 °C > 200 °C < ±0.5 % |
| Electrical Isolation STD | > 2,5 T Ohm at +25 °C |
| Temperature sensor | Pt100 1/3DIN, 4-line wired |
| Chuck surface plating | Nickel (gold or non-conductive available) |
| Interfaces | RS232C, Ethernet, others on request |
| Control method | Low noise DC/PID with Temperature Dynamic Control TDC |
| Heating rates for 300 mm system | - 55 °C to +25°C: 10 min - 40 °C to +25°C: 8 min +25 °C to +150 °C: 15 min +25 °C to +200 °C: 20 min +25 °C to +300 °C: 30 min |
| Cooling Rates for 300 mm system | +150 °C to +25 °C: 25 min +200 °C to +25 °C: 30 min +300 °C to +25 °C: 35 min +25 °C to - 20 °C: 15 min +25 °C to -40 °C: 25 min +25 °C to -55 °C: 30 min |
ERS electronic GmbH 总公司设立于德国，致力于提供半导体产业创新的晶圆温度测试解决方案逾 50 年；ERS 开发及生产之热卡盘系统系列产品：AC3、AirCool © 、AirCool © Plus 及 PowerSense © 销售全球，是大尺寸晶圆针测机中不可或缺的产品。ERS 还开发eWLB制程设备，用于去载板和去载板后的产品去翘曲。超过10年的服务该领域，不断完善设备和工艺。ERS可以为客户提供优良的FOWLP和FOPLP的优良的工艺设备，以及保证工艺完成的De-warpage设备。
