正式步入埃米时代！ 蔚华科技与衡陞科技宣布推出埃米级尺度探针

半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技（TWSE: 3055）与世界级领先的纳米级金属探针制造商MesoScope Technology 衡陞科技共同宣布全新埃米维度尺度探针产品正式上市，埃米尺度探针及量测技术可用于解决新进制程发展阻碍，致力为半导体量测领域带来全方位的解决方案。

随着高速运算、神经网络、量子计算机、无人驾驶等科技产业需求快速攀升，发展低功耗、小尺寸、异质整合及超高运算速度的芯片架构技术，已成为全球半导体制造业者最重要的产业趋势与决胜关键。在预见未来半导体的产品架构进化下，摩尔定律将得以维持，单位面积下的晶体管将持续成长，尺寸的不断微缩也对探针提出了更高的要求。衡陞科技已成功利用M.S.T.技术去克服制造上的困难，成功将产品从纳米维度推向埃米维度，现已开发并正式量产高达14种不同尺寸的探针，可被广泛应用于不同领域，从封装的Pad量测到晶体管的特性量测，其最先进的CR1(Curvature Radius 1nm)探针可被应用于2纳米以下制程之故障分析使用。

相较于其他制造技术，衡陞科技透过M.S.T.技术，得以在不破坏材料组成结构下，可稳定将探针针尖尺寸微缩到埃米等级，可提供探针更好的韧性，并可搭配全球领先的纳米探针品牌Kleindiek Nanotechnik，将纳米级电性量测与器件表征技术可广泛应用于各种复杂与高速器件的研发过程，以确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可满足中国芯片自主化的过程中将产生庞大的市场需求。

衡陞科技董事长黄信豪表示，合作一年多来，蔚华科技展现经营两岸半导体业多年来累积的丰富产业资源及客户关系，高可靠度的制程与质量保证解决方案及高弹性的客户服务质量深受业界肯定。此次埃米尺度探针的研发是全球纳米探针领域的重大突破，衡陞科技一直致力于给半导体界带来尖端的探针产品，相信通过与蔚华科技的强强合作，能够持续为半导体量测市场提供更优质的解决方案。

蔚华电子科技（上海）总经理杨向群表示，衡陞科技在纳米探针和纳米量测具有世界级技术领先优势，此次引进全球领先的埃米尺度探针，配合此前纳米探针品牌Kleindiek Nanotechnik以及衡陞科技的纳米探针量测服务，进一步优化了蔚华的产品线，提升了蔚华制程质量保证解决方案的完整性。蔚华科技坚信和衡陞科技的合作将可成为中国半导体客户在量测领域突破和水平提升的一大助力，更可满足客户对于先进制程芯片严苛的技术工艺与量测需求，势必能为双方及客户创造三赢。

以下是两只CR5A站在5nm制程同一颗Contact上

以下是CR5A站在一组5nm制程的晶体管

关于衡陞科技纳米探针尺寸以及对应各制程分析需求

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区半导体封测解决方案专业品牌，拥有先进的全方位解决方案及产品，提供半导体各个制程与不同产品的测试、封装、检测、验证等设备销售、应用工程与客户服务需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS，AFORE, ERS, Hamamatsu, Intekplus, MesoScope, ShibaSoku, TASMIT, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半导体设备领导品牌。蔚华集团以专业分工，提供半导体、电子制造、通讯及车用电子等科技产业高质量的整合解决方案。蔚华科技成立于1987年，总部位于台湾新竹，于上海、合肥、苏州、深圳、北京、成都皆有服务据点。更多信息请浏览公司官网www.spirox.com。

关于衡陞科技

衡陞科技于2006年7月在台北成立，是世界一流的金属探针制造厂及半导体电性故障分析的解决方案提供者，并且有能力提供全球客户最先进的纳米探针。衡陞科技致力于设计以及开发典型故障分析所需使用的探针以及相关产品。更多信息请浏览公司官网www.mesoscope.com.tw。